主要研究設備

本實驗室主要研究真空設備與製程相容於目前主流半導體公司，擁有工學院唯一的電子顯微鏡，計有： 

• 掃描式電子顯微鏡  真空濺鍍設備(I)   真空濺鍍設備(II)  
• 真空退火爐(I)  真空退火爐(II)  真空蒸鍍設備  
  
• 太陽光模擬器   光譜量測儀   Hall量測儀
• Wet Bench 

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• 掃描式電子顯微鏡
• 真空濺鍍設備(I)
• 真空濺鍍設備(II)
• 真空退火爐(II)
• 太陽光模擬器 
• 光譜量測儀
• Hall量測儀